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半导体硅片

晶圆、芯片表面纳米级颗粒去除,为高良率生产提供兆声波级洁净保障

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覆盖四大主要场景

晶圆/硅片:8-12英寸无图案/带图案晶圆清洗,含颗粒/有机物去除、光刻胶剥离后等全流程清洁

研磨板/光研磨:保护膜下无损清洗,清洁对准标记,降低返工率与膜层损伤

先进封装:支撑 3D 堆叠/扇出工艺,覆盖晶圆/面板级封装前后及高深宽比结构清洁

MEMS/微纳器件:释放后清洗+高深宽比结构去颗粒,避免空化损伤,提升产品良率

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全流程清洗服务矩阵

工艺级清洗:预清洗、去胶清洗、氮化硅去除、金属(Co、Ti)去除、RCA清洗等全流程覆盖

专项清洗:Recycle清洗、抛光后清洗、Epi前/后清洗、扩散前/后清洗、外延前清洗

零部件清洗:石英管/舟、石英板、点火炮等浸泡式清洗,石英管喷淋式清洗

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根据文案生成配图 (9)@1x.webp

兆声波纳米级无损清洗,赋能半导体高端精密制造

纳米级清洁精度,实现颗粒、有机物、残留物等微纳级杂质彻底去除

无损工艺保障,采用兆声波技术,避免空化损伤与膜层破坏,提升产品良率与可靠性

全场景适配能力,覆盖核心场景+全流程先进工艺,无需多供应商切换,降低制造成本