从两会展台到半导体产线：哈科迪兆声波“宝安智造”名片

2026年8月28日，为期五天的“宝安优品展示展销专项活动”在宝安区政府大楼二楼圆满落幕。作为宝安本土兆声波技术企业，哈科迪兆声波技术（深圳）有限公司（下称“哈科迪”）携贴合式兆声波模块 HKD-MegPie-V-1M250W 亮相，向代表委员与现场观众展示了半导体精密清洗装备领域的“宝安智造”实力。

1. 把产业实景搬进两会：103家企业、超300件优品集中亮相

由宝安区企业服务中心主办的“宝安优品展示展销专项活动”，于2026年8月24日至28日在宝安区政府大楼二楼举办，主题为“构建现代化产业体系，锻造高质量发展支撑”。活动期间，103家企业的超300件产品集中亮相，其中23款新品首发首秀，32家企业180余款产品推出六至八折专场优惠；现场按“产品、能力、生态”逻辑主线设置六大功能展区，覆盖半导体与集成电路、高端装备与仪器、智能终端等10余个产业领域 [1][2]。

对宝安而言，这不止是一次产品陈列。把产业实景“搬”进两会现场，是宝安产业从“规模体量优势”向“体系竞争优势”跃升的具象化呈现，也是企业服务从“有求必应”向“有需必为”转型的实践验证 [2]。

2. 哈科迪：深耕兆声波的宝安“硬科技”企业

哈科迪兆声波技术（深圳）有限公司扎根深圳宝安，专注于半导体等高端精密制造领域的兆声波、多频超声关键模块与发生器研发制造，并提供兆声波清洗系统维修服务 [4]。公司于2022年承担深圳市创新创业计划技术攻关重点项目，聚焦兆声波清洗关键技术与设备研发，是“国产替代”语境下精密清洗装备的代表企业之一 [4]。

在半导体制造中，清洗环节直接关系良率与器件可靠性。兆声波设备长期依赖进口，哈科迪正是瞄准这一环节，把高频声波技术与工程化能力结合，为国产产线提供可集成的兆声模块方案。

3. 展台看点：贴合式兆声波模块 HKD-MegPie-V-1M250W

哈科迪此次送展的贴合式兆声波模块 HKD-MegPie-V-1M250W，采用换能器贴近工件的贴合式结构，声场覆盖相对均匀，主要面向湿法精密清洗场景。关键参数如下：

贴合式形态适合 CMP 后清洗、研磨前清洗、镀膜、去胶、显影、镜头及微电子精密清洗等工艺环节。PLL 频率实时跟踪、恒定功率输出与扫频驱动等共性功能，使模块在负载、液温波动时仍能保持输出稳定；配合 RS485 / 以太网 / I/O 接口，可便捷集成进湿法机台 [4]。

4. 兆声波为何被半导体产线看重

兆声波清洗利用约 1MHz 量级的高频机械波驱动液体，通过稳定空化与微射流作用去除表面颗粒，同时把对精细结构的损伤控制在较低水平 [3]。学术研究显示，在氨水溶液中对纳米图形进行清洗时，兆声波的图形损伤明显低于超声波，并可高效去除硅刻蚀后的侧壁颗粒 [3]；在 0.13μm Cu/low-k 双大马士革后刻蚀聚合物去除中，兆声增强在无损伤前提下显著缩短了清洗时间 [5]。

简单来说：颗粒越细、结构越脆弱，越需要兆声波这类“高频、低损伤”的清洗手段——这正是芯片终端清洗、先进封装等环节把频率提到 1MHz 量级的原因。

知识小贴士：1MHz 是什么概念？常规工业超声清洗频率多在 40~120kHz，兆声波约 1MHz（1000kHz），频率高出一个数量级以上，空化泡更小、作用更柔和，因此更适合纳米级颗粒去除与低损伤清洗 [3]。

5. 从“宝安制造”走向“宝安智造”

活动期间，“宝安优品”数字化消费云平台正式上线，推动“宝安优品”从线下五天的展销走向线上全年 [1][2]。对哈科迪而言，展会收官不是终点：以 HKD-MegPie-V-1M250W 为代表的国产兆声波模块，将继续从宝安走向更多半导体产线，让“宝安智造”在精密清洗这一关键环节持续被看见、被验证。

常见问题

1. 兆声波和超声波在半导体清洗上差在哪里？

兆声波（约 1MHz 量级）的颗粒去除尺度更细，可覆盖亚微米至纳米级颗粒，且对精细结构的损伤风险更低；超声波以中低频空化为主，颗粒尺度偏中/小，损伤风险相对更高。因此芯片终端清洗等对损伤敏感的环节，通常优先考虑兆声波 [3]。

2. 贴合式兆声波模块适合什么场景？

适合换能器贴近工件、希望声场相对均匀的湿法精密清洗场景，如 CMP 后清洗、研磨前清洗、镀膜、去胶、显影、镜头及微电子精密清洗等。HKD-MegPie-V-1M250W 工作频率 1MHz、最大功率 250W（5–250W 可调）[4]。

3. 哈科迪是深圳哪里的企业？

哈科迪兆声波技术（深圳）有限公司位于深圳宝安，专注兆声波/多频超声关键模块与发生器研发制造，以及兆声波清洗系统维修服务，官网为 www.hkdsonic.com [4]。